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一种光学薄膜的膜厚控制方法

专利号: 2017109794151

专利类型: 国家发明专利

所在单位: 机械工程学院

项目负责人: 庄秋慧

申请日期: 2017/10/19 0:00:00

授权公告日期: 2019/12/13 0:00:00

证书号: 3632958

公告号: CN107726987B

学科: 工学

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